Die SKY CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge-Reihe von hochpräzisen temperaturkompensierten Manometern bietet stabile Leistung in anspruchsvollen Produktionsumgebungen. Eine fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Ein robuster mechanischer Entwurf und digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, langfristige Stabilität und Temperaturkompensation. Das CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Wiederherstellung nach Atmosphärendruckaussetzung.
Features auf einen Blick
- Vollskalabereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
- Exzellente langfristige Signalstabilität
- Temperaturkompensiert
- Sensorschutz vor Verunreinigung
- Nullfunktion per Knopfdruck
- Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
- 2 Sollwerte (optional)
- RS232-Schnittstelle (optional)
Anwendungen
- Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
- Geräte zur Herstellung von Datenspeichern und Bildschirmen
- Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
- Generelle Druckmessung mit hoher Präzision
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG025D SKY Capacitance Diaphragm Gauge
English
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Datasheet - CDG025D-X3 SKY Capacitance Diaphragm Gauge (tiba39e1)
English
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Catalogs:
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Catalog - INFICON Vacuum Gauges and Accessories
English
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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