Die INFICON High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge HPG400 kombiniert Heißionisierung unter Hochdruck und Pirani-Sensoren in einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2 X 10 -6 bis Atmosphärendruck (1,5 X 10 -6 bis Atmosphärendruck). Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen.
Vorteile
- Das HPG400 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
- Die Hochdruck-Heißionisierungsmessröhre liefert präzise, verlässliche Druckmessungen von 1 X 10 -5 ... 1 mbar für verbesserte Prozesssteuerung.
- Vom Benutzer auswählbare Aktivierung heißer Ionenemission zwischen 5 X 10 -2 und 1 mbar
- Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Anwendungen
- Zerstäubungsanwendungen in der Halbleiterherstellung, Elektronik- und Medienindustrie
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tiba14e1-b.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
English
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Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
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EDS for HPG400 with Float EDS
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EDS for HPG400 with Integer EDS (HPG400-int.eds)
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GSD for HPG400 (HPG_06A8.GSD)
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HP400-SP (tima31e1-a.pdf)
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tima32e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tina31e1.pdf)
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