Die INFICON Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge BCG450 kombiniert die Vorteile dreier unterschiedlicher Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Paket, um Prozess- und Basisdrücke von 5 x 10^-10 bis 1500 mbar (3,75 x 10^-10 bis 1125 Torr) zu messen. Die BCG450 ersetzt drei Sensoren (Heißionen-, konvektionsoptimierte Pirani- sowie Vakuumschaltersensoren) und reduziert somit Kosten und Stellfläche.
Vorteile
- Die BCG450 spart Kosten und Stellfläche und reduziert die Komplexität von Installation und Einrichtung der Vakuummessung.
- Eine vom Gastyp unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet eine zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
- Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Durch die automatische Pirani-Justierung bei Hochvakuum und Atmosphärendruck sind weniger Eingriffe durch den Betreiber erforderlich.
- Die Differenzdruckmessung bei Normaldruck beseitigt Unbestimmtheiten hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks.
- Das leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für garantierte Reproduzierbarkeit.
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung bei Systemen vom Grob- bis zum Ultrahochvakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BCG450 (tiba12e1-b.pdf)
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BCG450-SD DeviceNet (tira40e1-a.pdf)
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Communication Protocol - BCG450-SP Profibus (tira41e1.pdf)
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EDS for BCG450 with Float EDS (float.eds)
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EDS for BCG450 with Integer EDS (int.eds)
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GSD for BCG450 (BCG_08E6.GSD)
English
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Instruction Sheet - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tima40e1-a.pdf)
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Instruction Sheet - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tima41e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tina40e1-a.pdf)
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|  | | 2004 Award Winner: TripleGauge Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge |
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