Die INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gauge, BPG400, bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5 X 10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 X 10 -10 Torr bis Atmosphärendruck). Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Die BPG400 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.
Vorteile
- Extrem großer Messbereich von 5 X 10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 X 10 -10 Torr bis Atmosphärendruck)
- Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 -8 ... 10 -2 mbar von 5 %
- Die Pirani-Verriegelung schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
- Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tiba15e1-a.pdf)
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
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Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
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EDS for BPG400-SD with Float EDS for BPG400-SD with Float Configuration
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EDS for BPG400-SD with Integer EDS for BPG400-SD with Integer Configuration
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Instruction Sheet - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tima03e1-b.pdf)
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Instruction Sheet - BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tima36e1-b.pdf)
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Operating Manual - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tina03e1-b.pdf)
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