Sämtliche dem Vakuum ausgesetzten Oberflächen des SKY AllCeramic CDG sind aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik gefertigt, welche die Edelstahlrohrleitungen des herkömmlichen CDG ersetzt. Dieses Produkt ist für Anwendungen gedacht, bei denen metallische Verunreinigungen vermieden werden müssen.
Vorteile
- Keine metallischen Verunreinigungen
- Fast vollständig korrosionsbeständig - lange Sensorlebensdauer für weniger Ausfallzeiten und geringere Betriebskosten
- Herausragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit über eine lange Betriebsdauer
- Längere Lebensdauer und höhere Temperaturstabilität
- Kein Isolationsventil erforderlich (je nach Betriebsmodus)
- Weniger anfällig gegen Partikel und Prozessnebenprodukte durch Suprashield
- Niedrigere Investitionskosten
- Direkter Ersatz vorhandener CDGs dank Schnittstellenkompatibilität
Anwendungen
- Für Ätz-, CVD- und PVD-Prozesse
- Dotierung von Silizium durch Implantations- oder Diffusionsprozesse
- Erzeugung einer Gateoxidschicht im Bereich von 100 nm
- Erzeugung von Sperrschichten (Ti, TiN, Ta und TaN) als Schutzschicht zwischen Silizium und Aluminium oder Kupfer
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG025-C (tiba07e1-a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - CDG025-C (tinz11e1.pdf)
English
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Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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