INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl für hochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG045D-Messgeräte sind temperaturgesteuert auf 45 ^o^C für bessere Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und stellen ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V bereit. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.
Vorteile
- Niedrigere Betriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
- Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
- Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
- Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Anwendungen
- Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
- Chemische und korrosive Prozesse
- Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
- Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
- Transferstandard für Nachweisbarkeitsmessungen
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG045D SKY Capacitance Diaphragm Gauges
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D
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Communication Protocol - Profibus -CP/V1 Interface for CDG045D
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Software - EDS for CDG045-0.1
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Software - EDS for CDG045-1
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Software - EDS for CDG045-10
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Software - EDS for CDG045-100
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Software - EDS for CDG045-1000
English
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Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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