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Penning Gauge
 Die Penning Gauge PEG100 ermöglicht zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kaltkathodensensor enthält kein Filament, das ausbrennen könnte. Aufgrund der Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Zerstäubungsanwendungen eingesetzt werden. Die Feldbusoptionen ermöglichen zusammen mit dem logarithmischen analogen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mithilfe von Profibus DP- oder DeviceNet-Protokollen.
Vorteile für Benutzer:
- Großer Messbereich von 1 x 10 -9 bis 1 x 10 -2 mbar
- Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
- Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
- Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst während Kathodenzerstäubungsvorgängen mit Argon
- Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
- Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
- LED-Anzeige für Stromversorgung und Plasmazündung
- Logarithmisches analoges Ausgangssignal
- Feldbusschnittstelle (Profibus DP, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation
Typische Anwendungen:
- Hochvakuum-Drucküberwachung
- Verdampfungs- und Kathodenzerstäubungssysteme
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich
Die Penning Gauge PEG100 ist ein Sensor mit Kaltkathode, der auf dem bewährten Prinzip von Penning basiert. Für die Entgasung des Ganzmetallsensors mit einer Al2 O3-Stromdurchführung kann das Gehäuse des Transmitters mit elektronischen Bauteilen und Magnet auf einfache Weise entfernt werden. Der Magnet gewährleistet ein geschlossenes Magnetfeld für geringfügige Streufelder. Die PEG kann daher auch in der Nähe von sensiblen Teilen innerhalb eines Systems installiert werden. Der Anodenring und die Titankathodenplatten können im Fall einer Verunreinigung leicht zu Wartungszwecken ausgewechselt werden. Das Verunreinigungsrisiko wird erheblich reduziert, da zerstäubtes Titan nicht magnetisch ist und daher weniger Kurzschlüsse innerhalb des Sensors entstehen. Die neu entworfene Kathodenplatte dient als Prallplatte für den Sensor.
Feldbus
Der Feldbus ermöglicht eine flexible und kontrollierte Netzwerkkommunikation für Prozesse und Anwendungen. Er gewährleistet die Übermittlung genauer digitaler Informationen, unabhängige Kontrolle sowie Wartungs- und Diagnoseroutinen für jedes angeschlossene Instrument und vereinfacht das Verbindungsdiagramm. Zu den Kontrollmaßnahmen gehören: Überwachen von Messwerten, automatische Nullpunktjustierung von Messgeräten, Erinnern des Bedieners an geplante Wartungsarbeiten, Warnsignale im Fall von Instrumentenfehlern und mehr.
Profibus DP
Die zentralen Automatisierungssysteme, wie z. B. PLC/PC oder Prozesssteuerungssysteme, kommunizieren durch eine schnelle serielle Verbindung mit dezentralen Instrumenten, wie E/A, Motoren, Ventilen und Druckwandlern. Der Datenaustausch mit den dezentralen Instrumenten findet meistens in Zyklen statt. Die Grundfunktionen des Profibus DP-Kommunikationsprofils umfassen auch azyklische Kommunikationsdienste zur Parametereinstellung, Steuerung, Überwachung sowie für Alarmfunktionen von intelligenten Instrumenten.
DeviceNet™
Die DeviceNet-Schnittstelle unterstützt Abfragen, Bitabtastung sowie die Änderung von Status-/Zyklusbefehlen. Wie bei anderen DeviceNet-Instrumenten kann der Benutzer alle verfügbaren Sensorfunktionen überwachen und steuern.
ZUGEHÖRIGE TECHNISCHE INFORMATIONEN:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Operations and Maintenance Manuals:
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Gebrauchsanleitung - tina13d1, PEG050, Penning Gauge (tina13d1.pdf)
English
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Gebrauchsanleitung - tina14d1, PEG100, Penning Gauge (tina14d1.pdf)
English
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Operating Manual - tina13e1, PEG050, Penning Gauge (tina13e1.pdf)
English
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Operating Manual - tina14e1, PEG100, Penning Gauge (tina14e1.pdf)
English
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