INFICON ベアードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5 X 10 ^-10^mbarから大気圧 (3.8 X 10 ^-10^Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、酸化イットリウム二重コーティングのイリジウムフラメント付きBPG402-Sをお選びください。オンボード校正データと一緒になったセンサ部が交換時の高い再生産性を保証します。
利点
- 5 X 10 -10^mbarから大気圧まで (3.8 X 10 ^-10 Torr から大気圧まで)の非常に広範囲な計測
- 10 -8 ... 10 -2 mbarの 5%という圧力範囲プロセスにおける優れた再現性
- ピラニのインターロックがフィラメントを早発バーンアウトから保護
- 長持ちの酸化イットリウムコーティングされたイリジウムフィラメント
- オプションでグラフィックディスプレーとフールドバスインターフェースも有り
- 自動高真空ピラニ調整は作業者による介入を軽減します。
- センサ部がオンボード校正データと簡単に交換でき、高い再生産性を保証
用途
- 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
- 工業塗料
- 一般的な真空計測と低から超高まで真空範囲のコントロール
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tiba31e1_a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG402-SD (tira46e1.pdf)
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Communication Protocol - BPG402-SP (tira47e1.pdf)
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EDS for BPG402 with Float EDS (float.eds)
English
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EDS for BPG402 with Integer EDS (int.eds)
English
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GSD for BPG402 (BPG_09AA.GSD)
English
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Instruction Sheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tima46e1-a.pdf)
English
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Instruction Sheet - BPG402-SD, BPG402-SP (tima47e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tina46e1.pdf)
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