INFICONのペニングゲージPEG100は確かな高真空計測を提供します。頑丈なペニング冷陰極センサはバーンアウトするフィラメントを持ちません。頑丈なペニング冷陰極センサには、バーンアウトするフィラメントがありません。対数アナログ出力信号に加え、フィールドバスオプションがProfibus DPやDeviceNet プロトコルを使った真空システムへの統合を簡単にします。
利点
- 5 X 10 -9 から1 X 10 -2 mbar (7.5 X 10 -10^から 7.5 X 10 ^-10 Torr)の広い計測範囲
- セラミックフィードスルーセンサ付きの全金属製冷陰極センサ（ペニング）
- 新たな電極形状は優れた点火特性を提供
- プラズマの点火後に減少された高電圧とアノードのチタン板は、アルゴンのスパッタリング作業中も、汚染のリスクを軽減
- アノードリングとチタンのカソードは簡単に洗浄または交換が可能
- ゲージ付近の磁界が最小
- 電源オンとプラズマ点火後のためのLEDインジケータ
- 対数のアナログ出力信号
- フィールドバスインターフェース(Profibus, CB, DeviceNet)で ネットワークコミュニケーションを使った真空システムへの簡単な統合
用途
- 高真空圧監視
- 蒸発とスパッタリングのシステム
- 一般的な真空計測と微から高まで真空範囲のコントロール
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - PEG100 (tiba22e1_a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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EDS for PEG100 with Float EDS (PEG100_SD_float.eds)
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GSD for PEG100 (PTR21358.GSD)
English
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Operating Manual - PEG100-D (tina12e1.pdf)
English
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