INFICONのピラニ標準ゲージ PSG500、PSG502-S、 PSG510-S、 PSG512-Sは現市場において最も進んだのデジタルピラニ技術を採用しています。頑丈なステンレススチールセンサセルとコンパクトなデザインが半導体システムや、補助真空側配管などの標準的な用途に適しています。
利点
- 簡単なプッシュボタンでATMとHV調整
- 省スペースの頑丈なデザイン
- アルミ製コンパートメント
- あらゆる方位に搭載可能
- 金属密封フィードスルー付きステンレススチール製計測セル
- 簡単な統合のための対数出力信号
- ねじ接合、10バールの絶対値で圧迫
- 摂氏250 度の ベークアウトバージョン
- 腐食性の作業にはオプションでニッケルフィラメント
- 極端に腐食性のある作業にはセラミックフィードスルー（PSG510と PSG512)
- オプショナルセットポイント
- RoHS対応
用途
- 高真空陰極ゲージのコントロール
- 補助真空圧力監視
- 真空システム内に安全回路
- 一般的な真空計測と微から粗まで真空範囲のコントロール
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tiba29e1-b.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tina44e1-f.pdf)
English
| German
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