INFICONのSKY AllCeramic CDG160A-Cは摂氏160度の温度で制御可能な唯一の金属フリーのダイアフラムゲージで、酸化、拡散、LPCVDといった困難な作業のためにデザインされています。ゲージからの金属汚染の可能性を取り除くため、チュービング、プラズマシールド、汚染保護シールドといった真空部分に触れるすべての表面は耐腐食性高純度酸化アルミニウムセラミックで作られています。
INFICON SKYAllCeramic CDG160A-C は、INFICONのゲージCDG160Aシリーズの実績あるセンサ技術を統合し、LPCVDやその他の過酷な半導体製造作業において、信頼性と再現性の高い性能を発揮します。
利点
- 金属フリーの高純度セラミックデザインで金属汚染を予防
- 摂氏 160度までの温度制御でプロセス生産物や副生物の凝縮を防止
- コンパクトなデザインで貴重なスペースを節約し、装置統合をシンプル化
- 周囲温度との高い互換性
- 追加保護シールド（スーパーシールド）で粒子保護チャンバーを強化し、ゲージ汚染の可能性を軽減
- ユニークなセラミックセンサのデザインが再現性と正確な計測と優れた長期安定性を実現
- オプションのセットポイントとステータス表示機能がさらなる追加コントロールと安心を提供
用途
- 酸化、拡散、LPCVDプロセス
- その他、金属フリー真空計測の必要条件
関連技術情報
リクエストに応じて可
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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