INFICON高圧力熱陰極ピラニゲージHPG400は、高圧力熱陰極とピラニセンサを一台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2 X 10 ^-6^から大気圧（1.5 X 10 ^-6^から大気圧）までの圧力を計測できます。HPG400は正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うために、繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します。
利点
- HPG400はコストとスペースを節約し、真空システムのインストールとセットアップにおける複雑さを軽減します。
- 高圧力熱陰極ゲージは1 X 10 -5 ...から 1mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果をお届けします。
- 5 X 10 -2 と1mbarの間で、ユーザが選べる熱陰極エミッションのアクチベーション
- ピラニのインターロックがフィラメントを過早バーンアウトから保護
- オプションでグラフィックディスプレーとフールドバスインターフェースも有り
- 自動高真空ピラニ調整は作業者による介入を軽減します。
用途
- 半導体製造、電子媒体産業のスパッタ作業
- 工業塗料
- 一般的な真空計測と低から超高まで真空範囲のコントロール
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tiba14e1-b.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
English
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Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
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EDS for HPG400 with Float EDS
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EDS for HPG400 with Integer EDS (HPG400-int.eds)
English
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GSD for HPG400 (HPG_06A8.GSD)
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HP400-SP (tima31e1-a.pdf)
English
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tima32e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tina31e1.pdf)
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