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真空計
Click on the above image to view our complete Vacuum Control catalog.
インフィコンの真空計は、コンパクト設計ながらすぐれた精度と信頼性を実現しています。1台のコントローラに複数の技術を組み合わせることにより、真空プロセスにおけるトータルな圧力測定とコントロールを提供します。
インフィコンの真空計は、ベアード・アルパート、ペニング、ピラニ、およびキャパシタンスダイアフラムによる計測技術を採用しています。
インフィコンの真空計は、半導体製造、オプティカルコーティング、スペースシミュレーション、および熱処理など幅広い分野において利用されています。
・インフィコンのセラミック製キャパシタンスダイアフラムゲージ（CDG）は、温度／機械安定性、ゼロドリフト、精度、再現性、および耐食性において、すべての金属ダイアフラム真空計（CDG）よりも優れています。従来の技術を超える革新的なインフィコンセラミック製キャパシタンスダイアフラムゲージは、いままでの金属ダイアフラムに代わり、高純度アルミナセラミックダイアフラムを使用し、すぐれた精度ならびに再現性を提供します。
・ガス種依存性のない、インフィコンのピラニキャパシタンスダイアフラムゲージは、特許であるデュアルピラニセンサと、ガス種に依存しないセラミックキャパシタンスダイアフラム技術を組み合わせた、低価格かつ省スペースの真空計です。
・インフィコンの、ベアード・アルパートキャパシタンスダイアフラムゲージは、1つのコンパクトな真空計、1つの接続口、1本のセンサケーブル、および1台のA/Dコンバータで13桁の測定が可能であり、複雑さとコストを大幅に低減することが可能です。
ベアード・アルパートゲージ
フィールドバス付きベアード・アルパートゲージ
ベアード・アルパート／ピラニ／キャパシタンスダイアフラムゲージ－TripleGauge
1台のコンパクトなゲージに3種類のテクノロジーを組み込むことにより、プロセスおよびベース圧力測定におけるコストと複雑さを低減します。
フィールドバス付きベアード・アルパート・ピラニ静電容量型ダイアフラム真空計－TripleGauge
1台のコンパクトな真空計に3種類のテクノロジーを組み込むことにより、プロセスおよび基本圧力測定におけるコストと複雑さを低減します。
ベアード・アルパート／ピラニゲージ
1つの真空接続で13桁まで測定可能です。ピラニと熱陰極（BA）ゲージが1つになりました。
フィールドバス付きベアード・アルパート／ピラニゲージ
1つの真空接続で13桁まで測定可能です。ピラニと熱陰極（BA）ゲージが1つになりました。
高圧力熱陰極ピラニゲージ
スパッタリングプロセス圧力を正確にコントロールする、繰り返し性および再現性にすぐれた圧力測定を提供します。
フィールドバス付き高圧力熱陰極ピラニゲージ
スパッタリングプロセス圧力を正確にコントロールする、繰り返し性および再現性にすぐれた圧力測定を提供します。
SKY高温型キャパシタンスダイアフラムゲージ
より安定した真空測定を実現します。
SKY静電容量型ダイアフラム真空計
低価格で、より安定した真空測定を実現します。
フィールドバス付きSKYキャパシタンスダイアフラムゲージ
低価格で、より安定した真空測定を実現します。
ピラニ／キャパシタンスダイアフラムゲージ
高速、正確、およびコンパクトな真空計です。
ピラニ標準ゲージ
小型で高性能なゲージです。
フィールドバス付きピラニ標準真空計
小型で高性能な真空計です。
ペニングゲージ
信頼性の高い高真空測定を提供します。
フィールドバス付きペニングゲージ
真空システムへの簡単な統合が可能です。
ゲージコントローラ－400シリーズ
プロセス測定およびコントロールへ完全なソリューションを提供します。
真空スイッチ
