INFICON 베이야드-알퍼트 피라니 컴비네이션 게이지 BPG402-S는 2개 게이지의 기능을 하나의 소형 장치로 제공하며 대기압에서 5 x 10 -10 mbar에서 대기압 (3.8 x 10 -10 Torr ~ 대기압)까지 측정할 수 있습니다. 두 가지 기술을 결합함으로써 설치, 설정 및 통합이 단순해 집니다. 하나의 경제적인 패키지로 알맞은 가격에 공정 압력에서 기초 압력까지 반복 측정하려면 산화이트륨 코팅된 이리듐 필라멘트가 있는 BPG402-S를 선택하십시오. 온보드 교정 데이터가 있는 감지 엘리먼트는 센서 교환 시 높은 재현성을 보장합니다.
장점
- 5 X 10 -10 mbar에서 대기압까지(3.8 x 10 -10 Torr ~ 대기압) 매우 넓은 측정 범위
- 10 -8 ... 0.10 -2 mbar의 공정 압력 범위에서 뛰어난 반복성
- 피라니 인터로크는 필라멘트가 너무 빨리 연소되는 것을 방지합니다.
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅된 이중 이리듐 필라멘트
- 선택적으로 그래프 디스플레이 및 필드버스 인터페이스가 제공됩니다.
- 자동 고진공 피라니 조정은 오퍼레이터의 개입을 줄입니다.
- 온보드 교정 데이터가 있는 감지 엘리먼트를 쉽게 교환할 수 있으므로 높은 재현성을 보장합니다
응용분야
- 반도체 공정 및 이송 챔버에서 압력 측정
- 산업 코팅
- 저진공에서 초고진공까지의 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tiba31e1_a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG402-SD (tira46e1.pdf)
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Communication Protocol - BPG402-SP (tira47e1.pdf)
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EDS for BPG402 with Float EDS (float.eds)
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EDS for BPG402 with Integer EDS (int.eds)
English
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GSD for BPG402 (BPG_09AA.GSD)
English
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Instruction Sheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tima46e1-a.pdf)
English
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Instruction Sheet - BPG402-SD, BPG402-SP (tima47e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP (tina46e1.pdf)
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