INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지 HPG400은 고압 고온 이온화와 피라니 센서를 하나의 경제적인 소형 패키지로 결합하여 2 X 10 -6 에서 대기압(1.5 X 10 -6 ~ 대기압)까지의 압력을 측정합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 반복성과 재현성이 뛰어난 압력 측정을 제공합니다.
장점
- HP400은 진공 시스템의 설치 및 설정 비용과 공간을 줄이고 복잡도를 낮춥니다.
- 고압 고온 이온 게이지는 1 X 10 -5 ~ 1 mbar 범위의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공하므로 공정 제어를 향상시킵니다.
- 5 X 10-2 ~ 1 mbar 사이에서 고온 이온 배출 작동을 사용자가 선택할 수 있습니다.
- 피라니 인터로크는 고온 필라멘트가 너무 빨리 연소되는 것을 방지합니다.
- 선택적으로 그래프 디스플레이 및 필드버스 인터페이스가 제공됩니다.
- 자동 고진공 피라니 조정은 오퍼레이터의 개입을 줄입니다.
응용분야
- 반도체 제조, 전자 및 미디어 산업의 스퍼터 응용
- 산업 코팅
- 저진공에서 고진공까지의 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Datasheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tiba14e1-b.pdf)
English
|
Operations and Maintenance Manuals:
|
|
Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
English
|
|
|
Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
English
| German
|
|
|
EDS for HPG400 with Float EDS
English
|
|
|
EDS for HPG400 with Integer EDS (HPG400-int.eds)
English
|
|
|
GSD for HPG400 (HPG_06A8.GSD)
English
|
|
|
Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HP400-SP (tima31e1-a.pdf)
English
| German
|
|
|
Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tima32e1-a.pdf)
English
| German
|
|
|
Operating Manual - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tina31e1.pdf)
English
| German
|
|
|
