INFICON 베이야드-알퍼트 피라니 정전용량 다이어프램 게이지 BCG450은 3가지 기술의 장점을 하나의 경제적인 소형 패키지로 결합하여 5 X 10 -10 ~ 1500 mbar (3.75 X 10 -10 ~ 1125 Torr)의 공정 및 기초 압력을 측정합니다. BCG450은 3가지 센서(고온 이온, 대류 향상 피라니 및 진공 스위치)를 대체하도록 설계되어 비용과 값비싼 툴 공간을 절감합니다.
장점
- BCG450은 진공 측정 장치의 설치 비용과 공간을 줄이고 복잡도를 낮춥니다.
- 10 Torr를 초과하는 가스 유형과 독립적인 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 더욱 신뢰성이 높은 로드락 제어를 제공합니다.
- 피라니 인터로크는 고온 필라멘트가 너무 빨리 연소되는 것을 방지합니다.
- 자동 고진공 및 대기압 피라니 조정은 오퍼레이터의 개입을 줄입니다.
- 대기압에서 차동 압력 측정으로 대기압 변화와 관련된 불확실성을 없앱니다.
- 온보드 교정 데이터가 있는 감지 엘리먼트를 쉽게 교환할 수 있으므로 재현성을 보장합니다
- 선택적으로 그래프 디스플레이 및 필드버스 인터페이스가 제공됩니다.
응용분야
- 반도체 공정, 이송 및 로드락 챔버에서 압력 측정
- 산업 코팅
- 저진공에서 초고진공까지 모든 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BCG450 (tiba12e1-b.pdf)
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BCG450-SD DeviceNet (tira40e1-a.pdf)
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Communication Protocol - BCG450-SP Profibus (tira41e1.pdf)
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EDS for BCG450 with Float EDS (float.eds)
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EDS for BCG450 with Integer EDS (int.eds)
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GSD for BCG450 (BCG_08E6.GSD)
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Instruction Sheet - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tima40e1-a.pdf)
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Instruction Sheet - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tima41e1-a.pdf)
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Operating Manual - BCG450, BCG450-SD, BCG450-SP (tina40e1-a.pdf)
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|  | | 2004 Award Winner: TripleGauge Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge |
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