INFICON 베이야드-알퍼트 피라니 컴비네이션 게이지 BPG400은 2개 게이지의 기능을 하나의 소형 장치로 제공하며 대기압에서 5 x 10 -10 mbar에서 대기압 (3.8 x 10 -10 Torr ~ 대기압)까지 측정할 수 있습니다. 두 가지 기술을 결합함으로써 설치, 설정 및 통합이 단순해 집니다. 하나의 경제적인 패키지로 공정 압력에서 기본 압력까지 알맞은 가격에 반복 측정을 할 수 있는 BPG400을 선택하십시오.
장점
- 5 X 10 -10 mbar에서 대기압까지(3.8 x 10 -10 Torr ~ 대기압) 매우 넓은 측정 범위
- 10 -8 ... 10 -2 mbar의 공정 압력 범위에서 뛰어난 반복성
- 피라니 인터로크는 고압 작동으로 인한 너무 이른 필라멘트 연소 및 과도한 오염으로부터 베이야드-알퍼트 시스템을 보호합니다.
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅된 이리듐 필라멘트
- 선택적으로 그래프 디스플레이 및 필드버스 인터페이스가 제공됩니다.
- 자동 고진공 피라니 조정은 오퍼레이터의 개입을 줄입니다.
응용분야
- 반도체 공정 및 이송 챔버에서 압력 측정
- 산업 코팅
- 저진공에서 초고진공까지의 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tiba15e1-a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
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Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
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EDS for BPG400-SD with Float EDS for BPG400-SD with Float Configuration
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EDS for BPG400-SD with Integer EDS for BPG400-SD with Integer Configuration
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Instruction Sheet - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tima03e1-b.pdf)
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Instruction Sheet - BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tima36e1-b.pdf)
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Operating Manual - BPG400, BPG400-SD, BPG400-SP, BPG400-SR (tina03e1-b.pdf)
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