SKY AllCeramic CDG의 완전 진공 노출 표면은 당사의 기존 CDG의 스테인리스강 관 대신 초순수 산화알루미늄 세라믹으로 제작됩니다. 금속 오염을 방지해야 하는 분야에서는 이 제품을 선호합니다.
장점
- 금속 오염 없음
- 낮은 제로 드리프트
- 거의 부식이 없음 - 센서 수명이 길어서 정지시간이 줄어들고 소유 비용이 절감됩니다
- 오랜 사용 기간 동안 우수한 정확성과 반복성
- 장기적인 온도 안정성 우수
- 절연 밸브가 필요 없음(사용 모드에 따라 다름)
- 상단 실드로 인해 입자 및 공정 부산물의 영향이 적음
- 가장 빠른 워밍업 시간
- 투자 비용 낮음
- 인터페이스 호환성으로 인해 기존 CDG의 교체가 간단함
응용분야
- 에칭, CVD 및 PVD 공정
- 이식 또는 확산 공정을 이용한 실리콘 첨가
- 산화
- 100의 범위에서 게이트 산화물층 생성
- 장벽층 생성(실리콘과 알루미늄 또는 구리 사이에 Ti, TiN, Ta 및 TaN 보호층)
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG025-C (tiba07e1-a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - CDG025-C (tinz11e1.pdf)
English
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Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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