매우 정밀한 온도 보정 압력계인 SKY CDG025D 정전용량 다이어프램 게이지 라인은 거친 제조 툴 환경에서 안정적인 성능을 위해 설계되었습니다. 첨단 디지털 전자부품이 게이지의 성능을 높이고 원 푸시 버튼 영점 기능과 설정점 조정과 같은 기능을 제공합니다. 내식성 초순수 세라믹 센서는 뛰어난 영점 안정성과 대기 파열을 포함한 7백만 회의 압력 주기에 달하는 긴 기대 수명을 가지고 있습니다. 독특한 센서 실드(특허 출원중)는 게이지를 공정 오염으로부터 보호합니다. 견고한 기계 설계와 디지털 전자부품은 EMC 호환성, 장기적인 안정성 및 온도 보정을 향상시킵니다. CDG025D 정전용량 다이어프램 게이지는 전원 공급 후 빠른 안정화와 대기압 노출로부터 신속한 복원으로 새로운 기준을 세웁니다.
특징 요약
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 눈금 범위
- 전원 공급 후 빠르게 안정화
- 대기압으로부터 신속한 복원
- 내식성 세라믹 센서
- 탁월한 장기적인 신호 안정성
- 온도 보정
- 오염으로부터 센서 보호
- 원 푸시버튼 영점 기능
- 광범위한 전원 공급
- 2개의 설정점(옵션)
- RS232 인터페이스(옵션)
응용분야
- 에칭 CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
- 데이터 저장 및 표시 제조 설비
- 산업용 진공 설비
- 일반적으로 매우 정확한 압력 측정
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - CDG025D SKY Capacitance Diaphragm Gauge
English
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Datasheet - CDG025D-X3 SKY Capacitance Diaphragm Gauge (tiba39e1)
English
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Catalogs:
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Catalog - INFICON Vacuum Gauges and Accessories
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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