INFICON SKY CDG100D 압력계는 정밀한 압력 측정 및 제어를 위한 최선의 선택입니다. CDG100D 게이지는 100°C에서 온도 제어되어 까다로운 반도체 및 플라즈마 공정에서 탁월한 성능을 나타냅니다. 모든 일반적인 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스에 대해 100m Torr ~ 1000 Torr까지 풀 스케일 범위를 사용할 수 있으며, 가스 유형과 독립적인 0 ~ 10 V의 선형 압력 신호를 제공합니다. INFICON 정전용량 압력계는 내식성 초순수 알루미늄 세라믹 다이어프램을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 우수한 신호 안정성, 대기압에서 빠른 복원, 짧은 워밍업 시간, 그리고 특별히 긴 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 반도체 및 진공 분야를 위한 고품질 비용 효율적인 압력 센서입니다.
장점
- 소유 비용 감소, 50% 빨라진 워밍업, 에너지 효율적인 낮은 소비전력
- 쉬운 통합, 다양한 풀 스케일(full scale), 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점이 있는 표준
- 쉬운 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 영점 명령, 영점 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 정비를 위한 진단 포트
- 2년 품질보증, 첨단 가열 컨셉트 및 게이지 보호로 수명 연장
- 거친 플라즈마 분야에서도 뛰어난 신호 안정성과 반복성으로 장기적인 재보정이 필요 없음
- 표준 준수: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
응용분야
- 에칭, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 공정
- 화학 및 부식성 고온 공정
- 게이지 보호가 필요한 일반적인 박막 및 진공 공정
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - Profibus, CDG100D
English
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Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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