INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C는 산화, 확산 및 LPCVD와 같은 까다로운 분야를 위해 설계된, 유일하게 금속이 전혀 없는 160°C 온도 제어 정전용량 다이어프램 게이지입니다. 관, 플라즈마 실드 및 오염 보호 실드와 같은 진공에 노출된 모든 표면은 내식성 초순수 산화알루미늄 세라믹으로 구성되어 게이지로 인한 금속 오염 가능성이 없습니다.
INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C는 LPCVD 및 그 외의 거친 반도체 제조 분야에서 확실하고 반복 가능한 성능을 제공하는 INFICON CDG160A 시리즈 게이지의 입증된 센서 기술을 통합하였습니다.
장점
- 금속이 없는 초순수 세라믹 설계로 금속 오염 방지
- 160°C로 온도를 제어하여 응결 또는 공정 생성물 및 부산물을 방지합니다
- 소형 디자인으로 값비싼 공간을 절감하고 툴 통합을 단순화합니다
- 높은 주위 온도 양립성
- 추가 보호 실드(Suprashield)로 입자 보호 챔버를 개선하여 게이지 오염 가능성 감소
- 독특한 세라믹 센서 디자인은 반복 가능성과 정확한 측정 및 뛰어난 장기적인 안정성 제공
- 옵션 설정점 및 현황 표시 기능은 추가적인 제어 및 안전 기능 제공
응용분야
- 산화, 확산 및 LPCVD 공정
- 그 외의 금속이 없는 진공 측정 요구사항
관련 기술 정보
요청 시 제공해 드립니다.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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