INFICON 역 마그네트론 피라니 게이지 MPG400과 MPG401은 5 X 10 -9 mbar에서 대기압(3.8 X 10 -9 Torr ~ 대기압)까지 측정합니다. 하나의 대수 아날로그 출력 신호로 다른 기술들을 하나의 소형 장치로 결합하여 설치, 설정 및 통합을 단순화시켰습니다.
장점
- 컴비네이션 게이지 - 역 마그네트론 및 피라니
- 5 X 10 -9 mbar에서 대기압까지 넓은 측정 범위
- 연소될 필라멘트가 없음
- 뛰어난 점화 특성
- 청소하기 쉬움
- FPM 또는 금속 밀봉된 피드스루
- 고전압에 대한 LED 표시등
- 대수 아날로그 출력 신호
응용분야
- 고진공 압력 모니터링
- 증발 및 스퍼터링 시스템에 대한 기초 압력
- 중간 및 높은 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Datasheet - MPG400, MPG401 (tiba30e1.pdf)
English
|
Operations and Maintenance Manuals:
|
|
Operating Instructions - MPG400, MPG401 (tima48e1.pdf)
English
| German
|
|
|
