INFICON 페닝 게이지 PEG050은 신뢰할 수 있는 고진공 측정이 가능합니다. 견고한 페닝 냉음극 센서는 연소될 필라멘트가 없습니다. 티타늄 음극판과 플라즈마 점화 후에 낮아지는 고전압으로 인해 스퍼터링 분야에서도 이 게이지를 사용할 수 있습니다.
장점
- 견고함
- 공기 돌입과 진동에 둔감합니다
- 측정 시스템의 분해 및 청소가 쉽습니다
- 음극판을 교환할 수 있습니다
- 특허 받은 양극 디자인을 통해 점화 특성이 향상되었습니다
- 티타늄 음극판으로 수명이 더 길어졌습니다
운전 장치
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - PEG050 (tiba18e1.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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