INFICON 페닝 게이지 PEG100 은 신뢰할 수 있는 고진공 측정이 가능합니다. 견고한 페닝 금 음극 센서는 연소될 필라멘트가 없습니다. 티타늄 음극판과 플라즈마 점화 후에 낮아지는 고전압으로 인해 스퍼터링 분야에서도 이 게이지를 사용할 수 있습니다. 대수 아날로구 출력 신호와 함께 제공되는 필드버스 옵션은 Profibus DP 또는 DeviceNet 프로토콜을 이용해서 진공 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
장점
- 하나의 센서로 광범위한 측정 범위: 5 x 10 -9 ~ 1 x 10 -2 mbar (7.5 x 10 -10 ~ 7.5 x 10 -10 Torr)
- 세라믹 피드스루가 있는 완전 금속 냉음극 센서(페닝)
- 새로운 전극 형상으로 뛰어난 점화 특성 제공
- 플라즈마 점화 후의 전압 강하와 티타늄 음극판은 아르곤을 이용한 스퍼터링 작업중에도 오염 위험을 낮춥니다.
- 양극 링과 티타늄 음극은 쉽게 청소 또는 교체할 수 있습니다.
- 게이지 부근의 자기장 강도 약함
- 전원 켜짐 및 플라즈마 점화에 대한 LED 표시등
- 대수 아날로그 출력 신호
- 네트워크 통신을 이용하여 진공 시스템 안을 쉽게 통합할 수 있는 필드버스 인터페이스(Profibus DB, DeviceNet)
응용분야
- 고진공 압력 모니터링
- 증발 및 스퍼터링 시스템
- 미세하거나 높은 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - PEG100 (tiba22e1_a.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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EDS for PEG100 with Float EDS (PEG100_SD_float.eds)
English
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GSD for PEG100 (PTR21358.GSD)
English
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Operating Manual - PEG100-D (tina12e1.pdf)
English
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