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페닝 게이지
 페닝 게이지 PEG100은 신뢰할 수 있는 고진공 측정이 가능합니다. 견고한 페닝 냉음극 센서는 연소될 필라멘트가 없습니다. 티타늄 음극판과 플라즈마 점화 후에 낮아지는 고전압으로 인해 스퍼터링 분야에서도 이 게이지를 사용할 수 있습니다. 대수 아날로구 출력 신호와 함께 제공되는 필드버스 옵션은 Profibus DP 또는 DeviceNet 프로토콜을 이용해서 진공 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
사용자 이점:
- 1 x 10 -9 ~ 1 x 10 -2 mbar의 폭넓은 측정 범위
- 세라믹 피드스루가 있는 완전 금속 냉음극 센서(페닝)
- 새로운 전극 형상으로 뛰어난 점화 특성 제공
- 플라즈마 점화 후의 전압 강하와 티타늄 음극판은 아르곤을 이용한 스퍼터링 작업중에도 오염 위험을 낮춥니다.
- 양극 링과 티타늄 음극은 쉽게 청소 또는 교체할 수 있습니다.
- 게이지 부근의 자기장 강도 약함
- 전원 켜짐 및 플라즈마 점화에 대한 LED 표시등
- 대수 아날로그 출력 신호
- 네트워크 통신을 이용하여 진공 시스템 안으로 쉽게 통합할 수 있는 필드버스 인터페이스(Profibus DP, DeviceNet)
일반적인 용도:
- 고진공 압력 감시
- 증발 및 스퍼터링 시스템
- 미세하거나 높은 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
페닝 게이지 PEG100은 잘 입증된 페닝 원리에 기반한 냉음극 센서입니다. Al2O3 전류 피드스루가 있는 완전 금속 센서의 탈가스를 위해 트랜스미터의 하우징을 전자부품 및 자석과 함께 쉽게 제거할 수 있습니다. 자석은 표류장이 적은 닫힌 자기장을 제공합니다. 따라서 PEG를 시스템 내의 민감한 부품 옆에도 설치할 수 있습니다. 양극 링과 티타늄 음극판이 오염될 경우에는 쉽게 교환할 수 있으므로 정비가 빠릅니다. 스퍼터링된 티탄은 자성이 없기 때문에 센서 내의 누전의 축적을 제한함으로써 오염 위험이 크게 줄어듭니다. 새로 설계된 음극판은 센서에 대한 차폐 장치 역할을 합니다.
필드버스
필드버스는 공정이나 애플리케이션에 네트워크 통신의 유연성과 제어 기능을 제공합니다. 각 연결된 계기의 디지털 정보, 독립 제어, 정비 및 진단 루틴을 정확하게 통신할 수 있어서 연결도를 단순화시킵니다. 제어 수단은 측정값 감시, 게이지의 자동 영점 조정, 오퍼레이터에게 예정된 정비 작업 통지, 계기 고장시 경고 신호 등이 있습니다.
Profibus DP
PLC/PC 또는 공정 제어 시스템과 같은 중앙 제어 시스템은 입출력, 모터, 밸브 및 압력 트랜스듀서와 같은 분산형 기기와 고속 직렬 연결을 통해 통신합니다. 분산형 기기와의 데이터 교환은 대부분 주기적으로 이루어집니다. Profibus DP 통신 프로파일의 주요 기능에는 지능형 기기의 파라미터 설정, 제어, 감시 및 경고 기능을 위한 비주기적 통신 서비스도 포함됩니다.
DeviceNet™
DeviceNet 인터페이스는 폴링, 비트 스트로브 및 상태/주기적 명령의 변경을 지원합니다. 다른 DeviceNet 기기와 마찬가지로 사용자는 모든 가용 센서 기능들을 감시 및 제어할 수 있습니다.
관련 기술 정보:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Operations and Maintenance Manuals:
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Gebrauchsanleitung - tina13d1, PEG050, Penning Gauge (tina13d1.pdf)
English
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Gebrauchsanleitung - tina14d1, PEG100, Penning Gauge (tina14d1.pdf)
English
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Operating Manual - tina13e1, PEG050, Penning Gauge (tina13e1.pdf)
English
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Operating Manual - tina14e1, PEG100, Penning Gauge (tina14e1.pdf)
English
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