INFICON 피라니 표준 게이지 PSG500, PSG502-S, PSG510-S 및 PSG512-S는 시장에서 가장 발전된 디지털 피라니 기술을 사용합니다. 견고한 스테인리스강 센서 셀과 소형 디자인으로 반도체 시스템에 사용할 수 있을 뿐만 아니라 사전진공 라인과 같은 표준 응용분야에도 사용할 수 있습니다.
장점
- 쉬운 푸시버튼 ATM 및 HV 조정
- 공간을 절약하는 견고한 디자인
- 알루미늄 하우징
- 어느 방향으로나 설치 가능
- 금속 밀봉된 피드스루가 있는 스테인리스강 측정 셀
- 대수 신호 출력으로 통합이 쉬움
- 나사형 연결로 10 bar 절대 과압력
- 250°C 베이커블 버전
- 부식성 응용분야를 위한 니켈 필라멘트 옵션
- 극도로 부식성이 높은 응용분야를 위한 세라믹 피드스루(PSG510과 PSG512)
- 옵션 설정점
- RoHS 준수
응용분야
- 고진공 이온화 게이지 제어
- 사전 진공 압력 모니터링
- 진공 시스템 내의 안전 회로
- 정교하거나 개략적인 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Datasheet - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tiba29e1-b.pdf)
English
|
Operations and Maintenance Manuals:
|
|
Operating Manual - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tina44e1-f.pdf)
English
| German
|
|
|
