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•  VGC401 / VGC402 / VGC403 Vacuum Gauge Controller
•  VSA100 Vacuum Switch
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•  VSC150 Vacuum Switch
•  Vacuum Gauge Controllers - 400 Series
   
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술



진공 게이지 컨트롤러 VGC401 / VGC402 / VGC403

공정 측정 및 제어를 위한 완전한 솔루션
열음극, 냉음극, 피라니 및 정전용량 다이어프램 게이지 등 4가지 측정 원리와 호환되는 VGC400 시리즈 컨트롤러는 10 -10 ~ 1500 mbar (10 -10 ~ 1125 Torr)의 전체 압력 범위를 감시할 수 있습니다.

장점
  • RS232 인터페이스를 통해 온라인으로 펌웨어 업그레이드를 쉽게 다운로드 할 수 있습니다.
  • 각 게이지 또는 게이지 조합의 대수/선형 특성에 대한 프로그램 가능한 0 ~ 10 V 차트 레코더 출력(VGC402/403만 해당됨)
  • 고해상도 - 16비트 A/D 컨버터
  • 연결된 INFICON 게이지의 자동 식별
  • 사용자가 선택 가능한 측정 단위(mbar, Torr, Pascal, micron)
  • 조정 가능한 이력과 함께 최대 6개의 조정 가능한 설정점을 임의의 채널에 배정할 수 있음
  • 유연한 소형 탁상형 모델 디자인으로 패널이나 19" 랙에 쉽게 설치 가능
  • 90 ~ 250V, 50 ~ 60 Hz의 광범위한 전원 공급

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VGC401, VGC402, VGC403 (tiba08e1-c.pdf)
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Declaration of Conformity - VGC401 / 402 / 403 / 012 / 023 / VCC500 (tiua05d2.pdf)
German

   Firmware Update Release D - VGC40x Vacuum Gauge Controller, (302-534-d.zip)
English

   Firmware Update release E - VGC401 Vacuum Gauge Controller (302-519-e.zip)
English

   Installation Manual - VGC401 / 402 / 403 / 012 / 023 / VCC500 (tiqa01d2.pdf)
German

   Operating Manual - VGC401
English | German

   Operating Manual - VGC402, VGC403
English | German

Technical Information:

   Vacuum Gauge Calibration Options
English

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