INFICON VSC150 진공 스위치는 0.5~2000 mbar까지 조정 가능한 전기 절환 콘택트가 있는 절대 압력 스위치입니다. 기계적 디자인은 ±0.1 mbar의 스위칭 정확도를 손상시키지 않으면서 3000 mbar의 열 과부하를 허용합니다. VSC150 진공 스위치는 고객이 지정한 압력 설정으로 사전 조정됩니다.
장점
- 높은 스위칭 정확도(±0.1 mbar)
- 안정적인 장기 운전 특성
- 견고한 내식성 설계
- 스위칭 증폭기를 사용할 경우 스위칭 능력 증가
- 기준 챔버 내의 스위칭 콘택트(일반적으로 닫혀 있음)는 공정 매체에 대한 보호를 제공합니다
- 차동 압력 측정을 위한 어댑터 제공
응용분야
- 밸브, 펌프, 전원 공급장치를 제어하기 위한 압력 스위치 또는 차동 압력 스위치
- 로드락 챔버
- 공정 챔버
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - VSC150 Vacuum Switch (tiba32e1.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - VSC150 Vacuum Switch (tina42e1.pdf)
English
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