SKY 电容式隔膜真空计 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS

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Products:

带有 FabGuard 的射频传感技术

检漏仪

残余气体分析仪

真空元件

真空计

•	BCG450 TripleGauge Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•	BPG400 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•	BPG402 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•	Bayard-Alpert Gauge
•	Bayard-Alpert Gauge with Fieldbus
•	Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge - TripleGauge
•	Bayard-Alpert Pirani Capactiance Diaphragm Gauge with Fieldbus - TripleGauge
•	Bayard-Alpert Pirani Gauge with Fieldbus
•	CDG025 AllCeramic Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG045D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG160 AllCeramic Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG160D/200D Capacitance Diaphragm Gauge
•	HPG400 High Pressure Ionization Pirani Gauge
•	High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge
•	High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge with Fieldbus
•	MPG400 / MPG401 Inverted Magnetron Pirani Gauge
•	PCG550 Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•	PEG050 Penning Gauge
•	PEG100 Penning Gauge
•	PGD400 Pirani Gauge Display
•	PSG050 / PSG051 Pirani Standard Gauge
•	PSG100 / PSG101 Pirani Standard Gauge
•	PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S Pirani Standard Gauge
•	PSG55X Pirani Standard Gauge
•	Penning Gauge
•	Penning Gauge with Fieldbus
•	Pilot Vacuum Gauge
•	Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•	Pirani Standard Gauge
•	Pirani Standard Gauge with Fieldbus
•	SKY Capacitance Diaphragm Gauge
•	SKY Capacitance Diaphragm Gauge with Fieldbus
•	SKY High-temperature Capacitance Diaphragm Gauge
•	VGC401 / VGC402 / VGC403 Vacuum Gauge Controller
•	VSA100 Vacuum Switch
•	VSA200 Vacuum Switch
•	VSC150 Vacuum Switch
•	Vacuum Gauge Controllers - 400 Series

真空阀和气体计量系统

集成式过程监控

FabGuard 软件套件

SKY 电容式隔膜真空计 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS

INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 是唯一专为高要求应用（例如氧化、扩散和 LPCVD）而设计的完全无金属 160 °C 温控电容式真空计。所有暴露于真空的表面（例如管件、等离子屏蔽和污染防护罩）都包含防腐蚀超纯氧化铝陶瓷，使真空计不会受到潜在的金属污染。

INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 融合了 INFICON CDG160A 系列真空计成熟的传感技术，可为 LPCVD 及其他苛刻的半导体制造应用提供可靠且可重复的性能。

优势

无金属超纯陶瓷设计避免金属污染
温度控制在 160 ^o C，可防止过程产品和副产品发生冷凝现象
紧凑型设计可节省宝贵的空间，简化工具集成
高环境温适应性
增强的粒子保护腔室另外还带有防护罩 (Suprashield)，降低了真空计的污染概率
独特的陶瓷传感器设计具有卓越的长期稳定性，可提供可重复和准确的测量
可选设定点和状态指示提供附加控制和安全功能

应用

氧化、扩散和 LPCVD 过程
其他无金属真空测量要求

相关技术信息

根据需要提供。

提问？请与您当地的代表处联系，请按这里.