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INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2 X 10 -6 至大气气压（1.5 X 10 -6 至大气气压）范围内的压力。 HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。
优势
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1 X 10 -5 至 1 mbar 范围内的压力， 进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10 -2 至 1 mbar 之间启动
- Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空Pirani 自动调节，减少操作员的干预
应用
- 半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
- 工业镀膜
- 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tiba14e1-b.pdf)
English
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操作及维修手册:
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Communication Protocol - BPG400-SD, HPG400-SD (tira03e1-b.pdf)
English
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Communication Protocol - BPG400-SP, HPG400-SP (tira36e1-a.pdf)
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EDS for HPG400 with Float EDS
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EDS for HPG400 with Integer EDS (HPG400-int.eds)
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GSD for HPG400 (HPG_06A8.GSD)
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HP400-SP (tima31e1-a.pdf)
English
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Instruction Sheet - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tima32e1-a.pdf)
English
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Operating Manual - HPG400, HPG400-SD, HPG400-SP (tina31e1.pdf)
English
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