Pirani 标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S、PSG510-S、PSG512-S
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INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上最先进的数字 Pirani 技术, 不锈钢传感器单元坚固耐用,结构设计紧凑,适用于半导体系统和标准应用,例如前级真空管。
优势
- 轻松一键调节 ATM 和 HV
- 节省空间的坚固设计
- 铝质壳体
- 可安装在任何方向
- 不锈钢测量单元,带金属密封馈入件
- 对数信号输出,易于集成
- 螺纹接头,具有 10 bar 绝对过压能力
- 250 o C 可烘烤装置
- 镍丝选件,适用于腐蚀性应用
- 陶瓷馈入件,适用于腐蚀性极强的应用(PSG510 和 PSG512)
- 可选设定点
- 符合 RoHS 标准
应用
- 控制高真空电离真空计
- 前级真空压力监控
- 真空系统中的安全电路
- 高真空和低真空范围内的一般真空测量和控制
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tiba29e1-b.pdf)
English
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操作及维修手册:
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Operating Manual - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S (tina44e1-f.pdf)
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