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SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。 高级数字电子元件用于改进真空计的性能，具有一键归零功能和设定点调整等特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。 独特的传感器屏蔽（正在申请专利）用于保护真空计，使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 电容式隔膜真空计为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
功能概览
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 开机后快速稳定
- 从气压中快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
- 卓越的长期信号稳定性
- 温度补偿
- 传感器受防污染保护
- 一键归零功能
- 宽范围电源
- 2 个设定点（可选）
- RS232 接口（可选）
应用
*用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
- 数据存储和显示器制造设备
- 工业真空设备
- 经济、高度精确的压力测量
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - CDG025D SKY Capacitance Diaphragm Gauge
English
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Datasheet - CDG025D-X3 SKY Capacitance Diaphragm Gauge (tiba39e1)
English
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产品目录:
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Catalog - INFICON Vacuum Gauges and Accessories
English
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技术资料:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
| Chinese
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操作及维修手册:
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