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真空计

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INFICON 真空计设计紧凑,具有卓越的精确性和可靠性。在一个单独的控制器中结合了多项技术,用于全部压力测量和真空过程控制。

  • INFICON 陶瓷电容式真空计 (CDG) 在温度和机械稳定性、零点漂移、精确性、可重复性和耐蚀性方面优于所有金属薄膜 CDG。在传统技术的基础上经过创新,INFICON 陶瓷电容薄膜式真空计采用超纯的氧化铝陶瓷薄膜替代传统金属薄膜,使真空测量具有卓越的精确性和可重复性。

  • INFICON 与气体类型无关的皮拉尼电容薄膜式真空计在价格低体积小的规管中结合了专利双皮拉尼传感器技术和与气体类型无关的陶瓷电容薄膜技术。

  • INFICON B-A 型电容薄膜式真空计使用一个简易仪表、一根接线、一根传感器电缆和一个 A/D 转换器,可测量 13 量级,显著降低复杂性和成本。

B-A 型电离真空计

带有现场总线的 B-A 型电离真空计

B-A 型皮拉尼电容薄膜式真空计 - TripleGauge

融合三项技术的紧凑型仪表降低过程和基础压力测量的成本和复杂度

带有现场总线的 B-A 型皮拉尼电容薄膜式真空计- TripleGauge

融合三项技术的紧凑型仪表降低过程和基础压力测量的成本和复杂度

B-A 型皮拉尼真空计

带有真空接头的 13 量级。带有热阴极 (BA) 的皮拉尼。

带有现场总线的 B-A 皮拉尼真空计

带有真空接头的 13 量级。带有热阴极 (BA) 的皮拉尼。

高压热电离皮拉尼真空计

用于精确溅镀过程压力控制的可复验压力测量

带有现场总线的高压热电离皮拉尼真空计

用于精确溅镀过程压力控制的可复验压力测量

SKY 高温电容薄膜式真空计

更稳定的真空测量

SKY 电容薄膜式真空计

更稳定的低成本压力测量

带有现场总线的 SKY 电容薄膜式真空计

更稳定的低成本压力测量

皮拉尼电容式薄膜式真空计

快速、精确和紧凑

皮拉尼标准真空计

小巧而性能卓越。

带有现场总线的皮拉尼标准真空计

小巧而性能卓越。

潘宁真空计

可靠的高真空测量。

带有现场总线的潘宁真空计

向真空系统添加便捷的集成功能。

真空计控制器 - 400 Series

过程测量和控制的完全解决方案

真空开关